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封装科技,创“芯”未来——大奖国际股份携新款半导体装备亮相SEMICON China 2023
时间:2023.07.03

盛夏时节,半导体行业再次迎来万众瞩目的SEMICON China展会,作为全球最大规模、最具影响力的行业盛事,该展会汇聚了半导体产业的顶尖企业和专业人士,共同探讨行业前沿技术及未来发展趋势。


作为半导体封装设备领域的创新者,大奖国际股份已通过持续不断的研发攻关,突破多项关键核心技术,率先实现了半导体晶圆激光开槽、激光改质切割、刀轮切割、研磨等多款装备的国产化。


本次展会,公司发布并展示了其自主研发的先进技术成果——碳化硅研磨设备、 Wafer Handling激光改质切割设备以及刀轮切割设备,吸引了无数行业伙伴前来参观交流、洽谈合作,现场观众络绎不绝。

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这几款产品有何技术优势和独到之处呢?以下为您一一呈现!

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碳化硅研磨设备

该设备应用于4/6/8英寸碳化硅、蓝宝石等硬质材料晶圆的减薄

  • 可视化操作管理,实时显示和监控关键加工信息

  • 视觉检测和定位系统可识别晶圆正反面,实现自动定位补偿

  • 物料信息扫描录入、防止晶圆斜插

  • Fab晶圆级搬运手臂

  • 双高刚性气浮主轴设计,搭配自主研制的高目数磨轮


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半导体晶圆激光改质切割设备

该设备应用于8/12英寸硅晶圆及碳化硅、氮化镓等第三代半导体内部改质切割

  • 配备高功率红外激光器(极小的激光溅射),可兼容不同厚度的晶圆产品切割需求

  • 高精密直线电机,高速度X-Y运动平台

  • 配备SLM激光调制技术,具有光斑整型及补偿功能

  • 配备DFT动态追踪补偿系统,具有高精度的晶圆表面起伏追踪及补偿系统

  • 配备双光束(2-Beam)同时加工作业


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半导体晶圆刀轮切割设备

该设备应用于8/12英寸半导体晶圆领域的全自动划切加工

  • 配置上料区FFU、料层MAPPING和凸料检测等功能

  • 高性能位置测量和运动控制,实现更小的热误差和更高的设备精度

  • 自研破刀检测(BBD)系统和非接触式测高(NCS)系统

  • 切痕检测,自动纠偏

  • 全尺寸在线磨刀功能

  • 水气二流体清洗,标配水流量监控、气压监控


封装设备是半导体产业链的重要环节,对于芯片产品的关键性能、可靠性、产能都有着很大影响,装备须要有极高的精度与极强的稳定性,因此研制难度较大,即使研制成功,也难以通过客户端的严苛验证要求。


而依托先进的科研平台,大奖国际股份以极高的研发效率就多款封装设备实现了从样品研制、顺利验证、客户认可、正式订单的快速突破,其中,半导体晶圆研磨设备、激光开槽设备、Frame Handling激光改质切割设备、刀轮切割设备等已交付客户并实现稳定量产,以领先的产品优势赢得了诸多客户的认可与信赖。

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未来,大奖国际股份仍将致力创新、以激光、超高速高精密等技术为基础,聚焦半导体泛切割、2.5D/3D先进封装, 不断优化、拓展装备产品阵容,提供封装工艺整体解决方案,助推半导体产品工艺的不断升级, 为行业发展贡献力量。